芯片半導(dǎo)體專(zhuān)用HMDS蒸鍍真空烤箱
全功能整合式LCD TOUCH PANEL控制系統(tǒng)(WITH PLC CONTROL)到達(dá)真空度：低於1 Torr，溫度：MAX.200℃智慧型程式輸入功能，可供user依不同製程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。程式自動(dòng)監(jiān)測(cè)並檢知設(shè)定運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，完善的連環(huán)式保安設(shè)施，絕無(wú)安全顧慮HMDS密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)。10組程式記憶及自我診斷，故障顯示及排除指示功能單獨(dú)烤箱密閉性測(cè)試功能，確保HMDS無(wú)外漏顧慮。| 型 號(hào) | 內(nèi)尺寸(直徑×深度)(Cm) | |
| VO-30-HMDS | 30×30 | |
40 40×40 50 50×50
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